第897章 华国激光研究领先全球？ (第2/3页)
了摆手，眉开眼笑地说道。
“初步了解一下咱们光刻机项目的研发生产现状，并向徐老师当面请教一下相关知识。然后再敲定更多的合作细节。”
陈国泰正了正身子，满脸认真地说道。
“了解项目现状吗？”
徐国士沉吟着看向杜庆安。
杜庆安微微点了一下头。
“行吧......光刻机由十几个大系统组成，所有零部件加起来有好几万个。眼下我简简单说你今天在这里就能看到的光刻机最为核心的光源部分，也是我一直都在直接领导研发的部分......”
徐国士就清了清嗓子，对陈国泰缓声说道。
陈国泰连忙竖起耳朵，聚精会神地听了起来。
“......顾名思义，光刻机绝对离不开‘光’。它的加工本质是用流明度和分辨度都足够高的强光对足够纯净的硅晶圆进行‘微雕’......那么什么样的光才能足够强呢？毫无疑问，是激光。所以我们从研发一开始，就着手研制出了氦—氖气体激光器作为光刻机的光源干涉仪......”徐国士娓娓讲述道。
“什，什么？徐老师，你说咱们的光刻机光源一开始就是使用气体激光方案？”
陈国泰突然瞪大眼睛，不敢置信地惊呼道。
“对呀？这有什么问题吗？”
徐国士愣了一下，疑惑地说道。
有什么问题？这问题可大了！
陈国泰当即用看神仙一般的敬仰眼神震惊地看着徐国士，心里疯狂地呐喊。
就陈国泰前世记忆中的内容来看，国外的光刻机在本世纪九十年代之前，光源部分基本都是使用高压汞灯。
直到进入九十年代，国外光刻机的主流光源才开始使用氟—氩气体激光。
也就是俗称的DUV光刻机。
而就在那个时候，国内光刻机的光源部分已经换成了氟代硼铍酸钾非线性激光晶体，把西方世界远远地甩在了后面。
那个晶体有一个大名鼎鼎的名字——KB.BF晶体！
它在广泛应用中被叫做准分子固态激光......
（本章未完，请点击下一页继续阅读）