第567章 故障排除靠重启（5400） (第2/3页)
换件，还得找特殊渠道让阿斯麦的工程师私下来看看。”
张博士义愤填膺，提到迈国人的时候，五官都皱到了一起，眉毛倒竖，咬牙切齿，显然深恶痛绝。
宁雨好奇之余，也有点尴尬，庆幸还好自己进来时带了口罩，后来又穿上了无尘服，没让张博士认出来。
她国籍也是迈国。
这人怎么这么恨迈国？
宁雨有点奇怪。
她知道大周国内很多人会对迈国幸灾乐祸，但恨得这么咬牙切齿跟恨小倭子似的，可太少见了。
这人是干什么的？说的什么我都没听懂……
方豫闻言，让张博士指了一下这两台DUV损坏的位置，看似好奇的摸了摸。
张博士想说这两台设备太精密，不能随意触碰，但刚张开嘴，才想到这特么是老板。
东西都是人家买的，想摸就摸吧。
好在方豫没摸多久，就松开了手。
“我觉着这东西不是坏的啊，看起来挺正常的，再检测试试。”
就算张博士穿着无尘服，透过面罩都能看到脑门上青筋直冒。
你觉着？
这玩意儿坏了就是坏了，没坏就是没坏，你觉着有个屁用？
我还觉着柳菲菲应该对我一往情深呢，我觉着有用吗？
看不到故障灯在那亮着吗？
要不是看在你救了我的份上，我、我特么跳起来打你膝盖！
“方总，DUV重启一次，至少要十几个小时，花费几十万的费用，我们可以确信……”
张博士绞尽脑汁干巴巴的劝说道。
张博士说的也不完全是托词，阿斯麦的DUV每次冷启动都要完全置换气体，含有氖、氩、氟的准分子激光光源气体混合物很贵，至少要大几千迈元。
而且，DUV的激光腔寿命以脉冲数计数，每开关机一次，都会造成寿命的降低。
最重要的是，光刻机这东西也有点玄学，有可能关机前只是双工件台和光源系统有问题，重新开机后，不知道哪里又会蹦出新的问题。
“无非就是一点稀有气体的损失，问题不大。而且不需要冷启动，只需要在 HMI做模块复位，跑受影响子系统的qualification，二三十分钟就能结束，不会有什么大损失。”
方豫伸手敲了敲面前这台DUV的黄色外壳。
听了方豫的话，张博士不由得目瞪口呆。
你懂光刻机？
既然懂，怎么还说什么“我觉得”？
“这……这……可是……”
张博士一脑子浆糊，吭哧半天，也不知道该说什么好。
“重新自检，看看故障能不能排除，不能排除，我们再想办法。”方豫抱着双臂，语气轻松，却充满着不可置疑的味道。
“……那好吧。”张博士被迫妥协，叫来两个技术员打下手。
三人先在HMI终端上登录工程师权限，屏幕上弹出一连串灰底白字的系统菜单。
张博士伸手点进维护界面的子系统控制组群，找到了亮着红灯的工件台控制与光源模块。
“先做工件台自检吧。”
一通操作后，张博士点了一下对话框中的确认键，紧接着，就听到设备内部传来“咔、咔”几声电磁锁切换的清脆声响。
双工件台下方的真空泵开始抽气，伴随着低沉的气流声，整个平台缓缓降到维护位置。
宁雨震撼的看着这台大型设备的动作，充满了顶级机械工程的美感，感觉跟变形金刚似的。
几秒后，工件台的干涉仪和温控系统开始依次重新初始化，HMI上的进度条缓缓前进。
高精度激光干涉仪的红点在台面上来回扫描，反馈曲线在屏幕右侧实时抖动着趋于平稳。
整个过程也就持续了三四分钟，屏幕一闪，原本显示故障的位置瞬间变成了“Stage OK”的字样，警告状态瞬间消失。
消失了？
张博士身体一震，不可思议的揉了揉眼睛。
两名研究员也是一脸的惊诧，这台机器他们捣鼓了好久，双工件台仍旧只有一个能用，怎么现在居然莫名其妙的恢复了？
故障排除靠重启？
这不可能！
拿到这台机器后，子模块复位做了这么多次，没有一次能自检通过的。
怎么恢复的？
你特么玩我呢吧？
张博士深吸一口气：“再看一下光源系统。”
两名研究员忙不迭的光源控制，开始执行光源系统的复位程序。
远处的激光发生器先是发出一声低沉的嗡鸣，随后切换到高频的脉冲声，像有人在密集地敲打金属。
紧接着，激光腔内发出气体注入的嗤嗤声，混合的特种气体通过气路调节阀依次导入，屏幕上的传感器读书开始快速的跳动起来。
光束被导向光功率传感器与稳定度监测器，HMI上的曲线从最初的波动逐渐收敛成一条平滑的直线。
十分钟后，屏幕正中央弹出一行绿色的大字：
Laser Source: PASS。
PASS！？
张博士还以为自己看错了，不可思议的抬起手揉眼睛，却发现自己戴着全封闭的面罩，根本揉不到。
这是怎么回事！？
等等，刚才自己说了那么半天故障问题，还说什么需要换件之类的，不会让老板觉得自己是想坑他钱吧？
张博士额角的冷汗一下子就冒出来了。
“不错，不错。”方豫鼓了鼓掌，语带笑意，“刚刚可能是光源轻微老化和地面沉降导致工作台配平的问题，能一次通过自检，就算
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